HPHE/AAPS-IE-1912型CMP拋光液是廣東騰駿化工科技有限公司開發(fā)的新型高純度膠體拋光液。該產(chǎn)品廣泛運(yùn)用于鋁合金中框的CMP工藝中。產(chǎn)品CMP加工中具有移除速率高、懸浮性強(qiáng)、易清洗、使用壽命長等特點(diǎn)，能夠達(dá)到較好的鏡面效果和完美性；應(yīng)用在高新技術(shù)產(chǎn)品的鋁合金材料加工方面，能夠達(dá)到良好的視覺效果提高產(chǎn)品的精度。該類產(chǎn)品在實(shí)際應(yīng)用中，憑借粒徑均勻、濃度高等卓越的性能得到了客戶的充分肯定。

HPHE/AAPS-IE-1912型CMP拋光液采用粒徑適中的納米級(jí)SiO2水溶膠作為磨料，具有移除速率高、懸浮性強(qiáng)、易清洗、使用壽命長等特點(diǎn)。該產(chǎn)品在CMP過程中根據(jù)需要可以優(yōu)化不同配比，避免工件腐蝕，提高工件表面的光澤度，達(dá)到最佳的表面效果。

主要用于鋁合金的CMP工藝中。

建議TJHG-IE-1912型CMP漿料和去離子水的配比為1:1， 也可根據(jù)實(shí)際工藝要求改變配比。

1、CMP漿料使用過程中盡量避免直接暴露，防止污染物進(jìn)入漿料中造成劃傷。

2、冬季氣溫較低（<5℃）時(shí)，漿料不可放置室外，需存放在恒溫倉庫，一旦發(fā)生凝膠將不可使用。

3、漿料使用過程中需要及時(shí)清洗管路和器具，避免漿料長期殘留在管路和容器中造成凝膠，引起晶片表面劃傷。

4. 漿料循環(huán)使用時(shí)，需要在管口添加過濾裝置，以免發(fā)生凝膠而又反復(fù)應(yīng)用造成晶片表面劃傷。

1、運(yùn)輸與存放溫度為5-40℃，25℃為最佳存放溫度，存放時(shí)應(yīng)避光，以避免漿料變質(zhì)。

2、保質(zhì)期一年，建議半年內(nèi)使用。

3、避免金屬、顆粒污染，避免強(qiáng)電解質(zhì)的接觸。

25kg/桶、250kg/桶、1000kg/桶。