TJHG-SH-550型藍寶石基片CMP拋光液是廣東騰駿化工科技有限公司生產(chǎn)的新一代水溶性高純度CMP漿料，具有穩(wěn)定性好、濃度高、可循環(huán)使用等特點，用于藍寶石基片軟拋加工工藝，能夠實現(xiàn)晶片移除率高，表面平整度高、粗糙度低，表面無麻點、腐蝕坑等微缺陷，多項參數(shù)達到國際先進水平。TJHG-SH-550型CMP漿料采用單質硅水解工藝制備的致密度更好的膠體并且在輔助催化方面做了改進，具有去除速率高，表面質量好等優(yōu)勢。

TJHG-SH-550型藍寶石基片CMP拋光液采用我公司自主合成生產(chǎn)的高純納米SiO2水溶膠作為磨料，具有生產(chǎn)自動化高，穩(wěn)定性好的特點。CMP漿料生產(chǎn)過程中采用自動化配制，輔料的添加采用高精度流量計控制，全方位立體攪拌，兩層折疊濾芯過濾，自動灌裝包裝的生產(chǎn)配制方法，因此產(chǎn)品金屬雜質極少、易清洗、無毒無污染，使用中產(chǎn)品移除率高、損傷層小、平整度高，避免晶片出現(xiàn)劃傷。TJHG-SH-550型CMP拋光液中加入了特有的拋光促進劑以及活性物質，能夠在CMP過程中保證質量傳輸?shù)囊恢滦?，提高拋光效率。CMP過程中根據(jù)需要可以優(yōu)化不同配比，均能達到最佳使用效果，同時，該產(chǎn)品在拋光過程中具有無結晶，劃傷少，可以循環(huán)使用等特點。

主要用于2、4、6英寸藍寶石襯底片的高質量平整化精加工工藝。

TJHG-SH-550型藍寶石CMP漿料建議和去離子水的配比為1:1循環(huán)使用或1:2-3不循環(huán)，也可根據(jù)實際要求改變配比。

1、CMP漿料使用過程中盡量避免直接暴露，防止污染物進入漿料中造成劃傷。

2、冬季氣溫較低（<5℃）時，漿料不可放置室外，需存放在恒溫倉庫，一旦發(fā)生凝膠將不可使用。

3、漿料使用過程中需要及時清洗管路和器具，避免漿料長期殘留在管路和容器中造成凝膠，引起晶片表面劃傷。

4. 漿料循環(huán)使用時，需要在管口添加過濾裝置，以免發(fā)生凝膠而又反復應用造成晶片表面劃傷。

1、運輸與存放溫度為5-40℃，25℃為最佳存放溫度，存放時應避光，以避免拋光液變質。

2、保質期一年，建議半年內使用。

3、避免金屬、顆粒污染，避免強電解質的接觸。

25kg/桶、250kg/桶、1000kg/桶。