TJHG-SH-550型藍(lán)寶石基片CMP拋光液是廣東騰駿化工科技有限公司生產(chǎn)的新一代水溶性高純度CMP漿料，具有穩(wěn)定性好、濃度高、可循環(huán)使用等特點(diǎn)，用于藍(lán)寶石基片軟拋加工工藝，能夠?qū)崿F(xiàn)晶片移除率高，表面平整度高、粗糙度低，表面無(wú)麻點(diǎn)、腐蝕坑等微缺陷，多項(xiàng)參數(shù)達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平。TJHG-SH-550型CMP漿料采用單質(zhì)硅水解工藝制備的致密度更好的膠體并且在輔助催化方面做了改進(jìn)，具有去除速率高，表面質(zhì)量好等優(yōu)勢(shì)。

TJHG-SH-550型藍(lán)寶石基片CMP拋光液采用我公司自主合成生產(chǎn)的高純納米SiO2水溶膠作為磨料，具有生產(chǎn)自動(dòng)化高，穩(wěn)定性好的特點(diǎn)。CMP漿料生產(chǎn)過(guò)程中采用自動(dòng)化配制，輔料的添加采用高精度流量計(jì)控制，全方位立體攪拌，兩層折疊濾芯過(guò)濾，自動(dòng)灌裝包裝的生產(chǎn)配制方法，因此產(chǎn)品金屬雜質(zhì)極少、易清洗、無(wú)毒無(wú)污染，使用中產(chǎn)品移除率高、損傷層小、平整度高，避免晶片出現(xiàn)劃傷。TJHG-SH-550型CMP拋光液中加入了特有的拋光促進(jìn)劑以及活性物質(zhì)，能夠在CMP過(guò)程中保證質(zhì)量傳輸?shù)囊恢滦?，提高拋光效率。CMP過(guò)程中根據(jù)需要可以優(yōu)化不同配比，均能達(dá)到最佳使用效果，同時(shí)，該產(chǎn)品在拋光過(guò)程中具有無(wú)結(jié)晶，劃傷少，可以循環(huán)使用等特點(diǎn)。

主要用于2、4、6英寸藍(lán)寶石襯底片的高質(zhì)量平整化精加工工藝。

TJHG-SH-550型藍(lán)寶石CMP漿料建議和去離子水的配比為1:1循環(huán)使用或1:2-3不循環(huán)，也可根據(jù)實(shí)際要求改變配比。

1、CMP漿料使用過(guò)程中盡量避免直接暴露，防止污染物進(jìn)入漿料中造成劃傷。

2、冬季氣溫較低（<5℃）時(shí)，漿料不可放置室外，需存放在恒溫倉(cāng)庫(kù)，一旦發(fā)生凝膠將不可使用。

3、漿料使用過(guò)程中需要及時(shí)清洗管路和器具，避免漿料長(zhǎng)期殘留在管路和容器中造成凝膠，引起晶片表面劃傷。

4. 漿料循環(huán)使用時(shí)，需要在管口添加過(guò)濾裝置，以免發(fā)生凝膠而又反復(fù)應(yīng)用造成晶片表面劃傷。

1、運(yùn)輸與存放溫度為5-40℃，25℃為最佳存放溫度，存放時(shí)應(yīng)避光，以避免拋光液變質(zhì)。

2、保質(zhì)期一年，建議半年內(nèi)使用。

3、避免金屬、顆粒污染，避免強(qiáng)電解質(zhì)的接觸。

25kg/桶、250kg/桶、1000kg/桶。