隨著半導(dǎo)體器件集成度的大尺寸晶片集成度的提高，無損傷、無灰霧、無重金屬污染、無脂肪、無納米形貌的鏡面硅表面是必不可少的。富士見公司開發(fā)的 GLANZOX 系列正是為了滿足這一要求。GLANZOX 拋光劑由分散在由特殊成分組成的液體中的膠體二氧化硅構(gòu)成。該產(chǎn)品可獲得幾乎完美的拋光表面。最近，為了滿足大幅減少影響設(shè)備特性的金屬雜質(zhì)的要求，我們開發(fā)出了更高級別的拋光劑。